Zirconium -mål er et materiale, der bruges i fysisk dampaflejringsproces (PVD), der normalt bruges til at fremstille tynde film. Zirconium (kemisk symbol ZR) er et overgangsmetal med fremragende korrosionsbestandighed, højt smeltepunkt og gode mekaniske egenskaber. Zirconiummål er vidt brugt i halvledere, optiske belægninger, dekorative belægninger og funktionelle film.
Smeltningspunkt: 1852 grad
Kogepunkt: 4400 grad
Densitet: 6,5 g/cm³
Specifikationer: Flad mål/runde mål
Implementeringsstandard: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
Hovedapplikationsområder
1. halvlederfremstilling: Zirconiummål bruges til at deponere høje dielektriske konstante (High-K) film, såsom zirkoniumoxid (ZRO₂), til transistorportdielektriske lag.
2. Optiske belægninger: Zirconium-film har højt brydningsindeks og gode optiske egenskaber og bruges ofte i anti-reflektionsfilm eller reflekterende film til optiske enheder og linser.
3. Dekorativ belægning: Zirconiummål kan bruges til at fremstille slidbestandigt og korrosionsbestandigt dekorative belægninger, såsom ure, smykker osv.
4. Funktionelle tynde film: Zirconium tynde film kan også bruges til fremstilling af brændselsceller, sensorer og katalysatorer.
Karakteristika ved zirkoniummål
Høj renhed: Renheden af zirconiummål kræves normalt for at nå mere end 99,9% for at sikre filmens ydeevne.
Høj densitet: Målet kræver høj densitet for at reducere partikelgenerering under sputtering.
God ensartethed: Den kemiske sammensætning og mikrostruktur af målet skal være ensartet for at sikre filmens konsistens.
Forberedelsesproces
Forberedelsen af zirconiummål inkluderer normalt følgende trin:
1. smeltning: Forbered zirconium-ingotter med høj renhed ved vakuumbue-smeltning eller elektronstråle.
2. smedning og rulle: Forbedre materialets mikrostruktur og mekaniske egenskaber gennem varm behandling.
3. bearbejdning: behandle materialet til en form og størrelse, der er egnet til sputteringudstyr.
4. rengøring og emballering: Sørg for, at måloverfladen er ren for at undgå forurening.
Populære tags: Sputtering Coating Zirconium -mål, Kina, der sputtering af coating zirconium -målproducenter, leverandører, fabrik
